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서울대학교 박희재 명예교수

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Real-time critical dimension measurement of thin film transistor liquid crystal display patterns using optical coherence tomography

저자

SH Park, TW Kim, JH Lee, HJ Pahk

저널 정보

Journal of Electronic Imaging, Vol. 23, No. 1, 2014, pp. 013001-013001

출간연도

2014

링크

https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-electronic-imaging/volume-23/issue-1/013001/Real-time-critical-dimension-measurement-of-thin-film-transistor-liquid/10.1117/1.JEI.23.1.013001.short

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