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서울대학교 박희재 명예교수

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Critical dimension measurement of transparent film layers by multispectral imaging

저자

S Kwon, N Kim, T Jo, HJ Pahk

저널 정보

Optics Express, Vol. 22, No. 14, 2014, pp. 17370-17381

출간연도

2014

링크

https://opg.optica.org/oe/fulltext.cfm?uri=oe-22-14-17370

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