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Korean

서울대학교 박희재 명예교수

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3D Measurement of TSVs Using Low Numerical Aperture White-Light Scanning Interferom

저자

Taeyong Jo, Seongryong Kim, Heuijae Pahk

저널 정보

Journal of the Optical Society of Korea, Vol. 17, No. 4, 2013, pp. 317-322

출간연도

2013

링크

https://koreascience.kr/article/JAKO201324947256977.pdf

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