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Korean

서울대학교 박희재 명예교수

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In-line Critical Dimension Measurement System Development of LCD Pattern Proposed by Newly Developed Edge Detection Algorithm

저자

Sung-Hoon Park, eong-Ho Lee, Heui-Jae Pahk

저널 정보

Journal of the Optical Society of Korea, Vol. 17, No. 5, 2013, pp.392 - 398

출간연도

2013

링크

https://opg.optica.org/directpdfaccess/3f53377f-8b2a-46a9-beecc1af87f387ee_274931/josk-17-5-392.pdf?da=1&id=274931&seq=0&mobile=no

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