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서울대학교 박희재 명예교수

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Co-axial spectroscopic snap-shot ellipsometry for real-time thickness measurements with a small spot size

저자

SW Lee, SY Lee, G Choi, HJ Pahk

저널 정보

Optics Express, Vol. 28, No. 18, 2020, pp. 25879-25893

출간연도

2020

링크

https://opg.optica.org/directpdfaccess/fbc84d61-7b45-488d-bc3ad1e3f0688014_434552/oe-28-18-25879.pdf?da=1&id=434552&seq=0&mobile=no

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