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이중서보제어루프와 디지털 필터를 통한 서보모터-업전구동기의 초정밀위치결정 시스템 개발

저자

이동성, 박종호, 박희재

저널 정보

한국정밀공학회지 Vol. 16, No. 3, 1999, pp. 154-163.

출간연도

1999

Ultra Precision Positining System for Servo Motor-piezo Actuator Using the Dual Servo Loop and Digital Filter Implementation