저자
박희재,박종호,한상진
저널 정보
한국정밀공학회 2000년도 추계학술대회 논문집, pp. 551-554
출간연도
2000
링크
https://koreascience.kr/article/CFKO200011920378363.pdf
Development of Three D.O.F. Alignment Stage for Vaccume Environment
